第16课：EAP Recipe 流程程序管理（核心工艺控制）
一、本课学习目标
二、Recipe 基础概念
1. Recipe 定义
- 中文：流程程序 / 工艺配方
- 本质：机台执行工艺流程所需的全套参数集合
- 作用：告诉机台“怎么加工晶圆”
- 地位：EAP 自动化控制的核心模块之一
2. Recipe 核心作用
- 控制工艺温度、压力、时间、流量、转速
- 决定产品规格、良率、工艺结果
- 不同产品对应不同 Recipe
- 机台必须加载正确 Recipe 才能运行
3. 关键特性
- 唯一编号：Recipe ID / Recipe Name
- 版本管理：V1.0、V2.0
- 参数可配置、可编辑、可传输
- 必须激活才能生效
三、Recipe 标准结构
1. 基础信息
- Recipe 名称
- 版本号
- 产品型号
- 创建时间
- 适用机台类型
2. 工艺参数
- 温度设定值
- 真空度目标值
- 气体流量
- 工艺时间
- 机械手动作参数
- 报警阈值
3. 约束条件
- 适用晶圆尺寸
- 互锁条件
- 安全限制
四、EAP 管理 Recipe 的 5 大核心功能
1. 下载（Download）
- EAP → 机台
- 将上层系统（MES）的 Recipe 下发到机台
- 标准消息：S7F3 → S7F4
2. 上传（Upload）
- 机台 → EAP
- 读取机台本地存储的 Recipe
- 标准消息：S7F5 → S7F6
3. 激活（Active）
- EAP 指令机台加载并启用指定 Recipe
- 机台运行必须先激活 Recipe
4. 删除（Delete）
- 删除机台内无用的旧 Recipe
- 消息：S7F7 → S7F8
5. 比较（Compare）
- EAP 与机台 Recipe 参数一致性校验
- 防止参数错误导致工艺异常
五、SECS/GEM Recipe 标准消息（S7 系列）
1. S7F1 / S7F2
- 功能：获取机台 Recipe 清单
- 作用：EAP 查看机台有哪些配方
2. S7F3 / S7F4
- 功能：EAP 下发 Recipe 到机台
- 最常用核心消息
3. S7F5 / S7F6
- 功能：从机台上传 Recipe 到 EAP
4. S7F7 / S7F8
- 功能：删除机台指定 Recipe
5. S7F17 / S7F18
- 功能：Recipe 激活指令
六、Recipe 自动化运行流程（EAP 必懂）
七、Recipe 控制安全规则（严禁违规）
八、Recipe 常见故障与排查
场景1：下发 Recipe 失败
排查：
- 机台非远程/非联机
- 机台正在运行
- Recipe 格式错误
- 参数越限
- 通信中断
场景2：激活 Recipe 无效
排查：
- Recipe 不存在
- 参数校验失败
- 机台报警/联锁
- 权限不足
场景3：工艺不按参数执行
排查：
- Recipe 未激活
- 机台加载旧版本
- 参数下发不完整
- PLC 未刷新
场景4：Recipe 比较不一致
排查：
- 版本不匹配
- 下发丢失参数
- 机台本地修改过
